潔凈室氣密測試的基本原理
潔凈室氣密測試的基本原理
日期：2025-06-15 22:04
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摘要：
潔凈室氣密測試是很重要的，簡單直觀的一點就是潔凈車間（室）的氣密性可以防止負壓潔凈室內(nèi)污染物的外泄，如果這一項未檢測甚至相關(guān)檢測人員連氣密性檢測方法都不懂的話，那這個潔凈車間（室）的驗收就得越加另請高明了。針對這個潔凈車間（室）氣密性檢測，在合景凈化這里是有檢測方法的，下面就給大家分享潔凈車間氣密性檢測方法。
基本原理
1、維持無塵車間（室）內(nèi)為正壓或負壓均能達到檢測要求，但必要條件準許時，負壓潔凈車間（室）宜用正壓檢測，正壓潔凈車間（室）宜用負壓檢測。
2、可按下面兩種方式方法開展氣密性檢測:
2.1 - 壓力衰減法
使?jié)崈糗囬g（室）內(nèi)達到某一壓力(正壓或負壓)，然后關(guān)掉供壓或抽負壓系統(tǒng)，仔細觀察壓力隨時間慢慢哀減的情況，然后記錄下壓力衰減到開始壓力的二分之一時用到的時間，便是測量潔凈車間（室）內(nèi)正壓或負壓的半衰期。
2.2 - 恒壓法
使?jié)崈糗囬g（室）內(nèi)達到某一正壓，與此同時向潔凈車間（室）內(nèi)補氣，使室壓達到要求的穩(wěn)定值而不降低時的補氣量便是漏泄量。使?jié)崈糗囬g（室）內(nèi)達到某一負壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不降低時的抽氣量便是漏泄量。
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